Приложимо за PASSAT Fuel Common Rail Pressory ensor 06e906051k

1. Метод за формиране на сензор за налягане, включващ:

Осигуряване на полупроводников субстрат, при който първи междинен диелектричен слой, първи междинен диелектричен слой и втори междинен диелектричен слой се образуват върху полупроводниковия субстрат.

Долна плоча на електрода в първия междинен диелектричен слой, първи взаимен електрод, разположен на същия слой като долната плоча на електрода и раздалечен.

Свързващи слоеве;

Образувайки жертвен слой над долната полярна плоча;

Образувайки горната плоча на електрода на първия междинен диелектричен слой, първият слой за свързване и жертвеният слой;

След образуване на жертвения слой и преди да се образува горната плоча, в първия слой за свързване

Образуване на жлеб за свързване и запълване на канала на връзката с горната плоча за електрически се свързва с първия слой за свързване; Или,

След образуване на горната плоча на електрода се образуват свързващи канали в горната плоча на електрода и първия слой за свързване, който

Образуване на проводим слой, свързващ горната плоча на електрода и първия слой за свързване в канала на свързването;

След електрически свързване на горната плоча и първия слой за свързване, премахване на жертвения слой за образуване на кухина.

2. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 1, където в първия слой

Методът за формиране на жертвения слой върху междинния диелектричен слой включва следните стъпки:

Депозиране на жертвен материал на материала върху първия междинен диелектричен слой;

Моделиране на жертвения материал на материала, за да образува жертвен слой.

3. Методът за формиране на сензора за налягане съгласно претенция 2, където се използват фотолитография и гравиране.

Жертвеният материал слой е шаблон чрез процес на офорт.

4. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 3, където жертвеният слой

Материалът е аморфен въглерод или германий.

5. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 4, където жертвеният слой

Материалът е аморфен въглерод;

Офортът на газове, използвани в процеса на офорт на жертвения материал на материала, включват O2, CO, N2 и AR;

Параметрите в процеса на офорт на жертвения материал на материала са: диапазонът на потока на O2 е 18 SCCM ~ 22 SCCM, а скоростта на потока на CO е 10%.

Дебитът варира от 90 SCCM до 110 SCCM, скоростта на потока от N2 варира от 90 SCCM до 110 SCCM, а дебитът на AR.

Диапазонът е 90 sccm ~ 110 sccm, диапазонът на налягането е 90 mtor ~ 110 mTOR, а мощността на отклонение е

540W ～ 660W。