Приложимо за сензор за налягане на гориво Common Rail 06E906051K

1. Метод за формиране на сензор за налягане, включващ:

Осигуряване на полупроводников субстрат, при който първи междинен диелектричен слой, първи междинен диелектричен слой и втори междинен диелектричен слой са формирани върху полупроводниковия субстрат.

Долна електродна плоча в първия междуслоен диелектричен слой, първи общ електрод, разположен на същия слой като долната електродна плоча и раздалечен.

Свързващи слоеве;

Формиране на жертвен слой над долната полярна плоча;

Формиране на горна електродна плоча върху първия междинен диелектричен слой, първия свързващ слой и жертвения слой;

След формирането на жертвения слой и преди формирането на горната плоча, в първия свързващ слой

Оформяне на съединителен жлеб и запълване на съединителния жлеб с горната плоча за електрическо свързване с първия свързващ слой; или

След формирането на горната електродна плоча се формират свързващи жлебове в горната електродна плоча и първия свързващ слой, който

Формиране на проводим слой, свързващ горната електродна плоча и първия свързващ слой в съединителния жлеб;

След електрическо свързване на горната плоча и първия свързващ слой, премахване на жертвения слой, за да се образува кухина.

2. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 1, където в първия слой

Методът за формиране на жертвения слой върху междинния диелектричен слой включва следните стъпки:

Отлагане на слой от жертвен материал върху първия междинен диелектричен слой;

Моделиране на слоя от жертвен материал за образуване на жертвен слой.

3. Метод за оформяне на сензора за налягане съгласно претенция 2, характеризиращ се с това, че се използват фотолитография и гравиране.

Слоят на жертвения материал е шарен чрез процес на ецване.

4. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 3, където жертвеният слой

Материалът е аморфен въглерод или германий.

5. Методът за формиране на сензор за налягане съгласно претенция 4, характеризиращ се с това, че жертвеният слой

Материалът е аморфен въглерод;

Ецващите газове, използвани в процеса на ецване на слоя жертвен материал, включват O2, CO, N2 и Ar;

Параметрите в процеса на ецване на слоя от жертвен материал са: обхватът на потока на O2 е 18 SCCM ~ 22 SCCM, а скоростта на потока на CO е 10%.

Дебитът варира от 90 SCCM до 110 SCCM, дебитът на N2 варира от 90 SCCM до 110 SCCM, а дебитът на Ar.

Диапазонът е 90 SCCM ~ 110 SCCM, обхватът на налягането е 90 mtor ~ 110 mtor, а мощността на отклонение е

540w ~ 660w.