Често използваният сензор за полупроводниково налягане използва силиконова вафла N-тип като субстрат. Първо, силициевата вафла се превръща в еластична част, носеща стрес с определена геометрия. При носещата на стрес част на силициевата вафла се правят четири резистора на P-тип дифузия по различни кристални посоки и след това с тези четири резистора се образува мост с пшеничен камък с четири ръце. При действието на външната сила промените на стойностите на съпротивление стават електрически сигнали. Този мост на пшеничния камък с ефект на налягане е сърцето на сензора за налягане, който обикновено се нарича пиезорезистивен мост (както е показано на фигура 1). Характеристиките на пиезорезистивния мост са както следва: ① Стойностите на съпротивлението на четирите рамена на моста са равни (всички R0); ② Пиезорезистивният ефект на съседни ръце на моста е равен по стойност и противоположно по знак; ③ Коефициентът на температура на съпротивление на четирите рамена на моста е един и същ и те винаги са на една и съща температура. На фиг. 1, R0 е стойността на съпротивлението без стрес при стайна температура; RT е промяната, причинена от температурния коефициент на съпротивление (α), когато температурата се променя; Υ rδ е промяната на резистентността, причинена от щам (ε); Изходното напрежение на моста е u = i0 Δ rΔ = i0rgΔ (мост на източника на постоянен ток).

Където i0 е постоянен ток на тока и E е постоянно напрежение на напрежението. Изходното напрежение на пиезорезистивния мост е пряко пропорционално на щам (ε) и няма нищо общо с RT, причинен от температурния коефициент на съпротивление, което значително намалява температурния дрейф на сензора. Най -широко използваният сензор за полупроводниково налягане е сензор за откриване на налягането на течността. Основната му структура е капсула, изработена от монокристален силиций (както е показано на фигура 2). Диафрагмата е направена в чаша, а дъното на чашата е частта, която носи външната сила, а мостът за налягане е направен на дъното на чашата. Пръстеният пиедестал е направен от един и същ силициев единичен кристален материал и след това диафрагмата е свързана с пиедестала. Този вид сензор за налягане има предимствата на висока чувствителност, малък обем и солидност и се използва широко в авиацията, космическата навигация, инструментите за автоматизация и медицинските инструменти.