Структура на пиезорезистивен сензор

В този сензор резисторната лента е интегрирана върху монокристалната силициева диафрагма чрез процеса на интеграция, за да се направи силициев пиезорезистивен чип, а периферията на този чип е фиксирано опакована в обвивката, а проводниците на електрода са изведени. Пиезорезистивният сензор за налягане, известен още като сензор за налягане в твърдо състояние, е различен от лепилния габарит, който трябва да усети външната сила косвено чрез еластични чувствителни елементи, но директно усеща измереното налягане чрез силициева диафрагма.

Едната страна на силициевата диафрагма е кухина с високо налягане, която комуникира с измереното налягане, а другата страна е кухина с ниско налягане, която комуникира с атмосферата. Като цяло, силиконовата диафрагма е като кръг с неподвижна периферия, а съотношението на диаметъра към дебелината е около 20 ~ 60. Четири р ивици за устойчивост на примеси са дифундирани локално върху кръглата силиконова диафрагма и са свързани в пълен мост, две от които са в зоната на загъваемостта, а другите две са в плътната стрес зона, които са симетрични с уважението към центъра на диафрагмата, която е в уважението към центъра на диафрагмата, която е в зависимостта от централната част на диафрагмата.

В допълнение, има и квадратна силициева диафрагма и сензор за силиконов колона. Силиконов цилиндричен сензор също е изработен от резистивни ленти чрез дифузия в определена посока на кристална равнина на силициевия цилиндър и две ивици, резистивни на напрежението на опън и две резистивни ивици на натиск върху напрежението образуват пълен мост.

Пиезорезистивният сензор е устройство, направено чрез дифузионна устойчивост на субстрата на полупроводниковия материал според пиезорезистивния ефект на полупроводниковия материал. Неговият субстрат може да се използва директно като сензор за измерване, а дифузионното съпротивление е свързано в субстрата под формата на мост.

Когато субстратът се деформира от външна сила, стойностите на съпротивлението ще се променят и мостът ще доведе до съответния небалансиран изход. Субстратите (или диафрагмите), използвани като пиезорезистивни сензори, са главно силициеви вафли и германски вафли. Силиконовите пиезорезистивни сензори, изработени от силициеви вафли, тъй като чувствителните материали привличат все повече и повече внимание, особено най-широко използваните, че твърдите държавни пиезорезистивни сензори за измерване на налягането и скоростта са.