Датчик за налягане на двигателя 2CP3-68 1946725 за багера на Картър

Метод за подготовка на сензор за налягане, характеризиращ се с включване на следните стъпки:

S1, осигуряваща вафла с задна повърхност и предна повърхност; Образуване на пиезорезистивна лента и силно легирана зона за контакт на предната повърхност на вафлата; Образуване на дълбока кухина на налягане чрез офорт на задната повърхност на вафлата;

S2, свързване на лист за поддръжка на гърба на вафлата;

S3, производствени оловни дупки и метални проводници от предната страна на вафлата и свързване на пиезорезистивни ленти за образуване на мост на пшеничния камък;

S4, отлагане и образуване на пасивационен слой върху предната повърхност на вафлата и отваряне на част от пасивационния слой, за да образува метална подложка. 2. Методът на производство на сензора за налягане съгласно претенция 1, където S1 конкретно съдържа следните стъпки: S11: Осигуряване на вафла с задна повърхност и предна повърхност и определяне на дебелината на чувствителен към налягането филм на вафлата; S12: Инорната имплантация се използва на предната повърхност на вафлата, пиезорезистивните ленти се произвеждат от процес на дифузия с висока температура и контактните региони са силно легирани; S13: отлагане и образуване на защитен слой върху предната повърхност на вафлата; S14: офорт и образуване на дълбока кухина на налягането на гърба на вафлата, за да се образува чувствителен към налягането филм. 3. Методът на производство на сензора за налягане съгласно претенция 1, където вафлата е SOI.

През 1962 г. Tufte et al. Произвежда сензор за пиезорезистивно налягане с дифузен силиконов пиезорезистивен ленти и структура на силициев филм за първи път и започна изследването на пиезорезистивния сензор за налягане. В края на 60 -те и началото на 70 -те години появата на три технологии, а именно силиконовата анизотропна технология за офорт, технологията за йонна имплантация и технологията на анодна връзка, донесе големи промени в сензора за налягане, което играе важна роля за подобряване на работата на сензора за налягане. От 80 -те години на миналия век, с по -нататъшното развитие на микромашиниращата технология, като анизотропно ецване, литография, дифузионно допинг, йонна имплантация, свързване и покритие, размерът на сензора за налягане е непрекъснато намален, чувствителността е подобрена, а изходът е висок и производителността е отлична. В същото време разработването и прилагането на нова технология за микромашиниране правят дебелината на филма на сензора за налягане точно контролирана.