Датчик за налягане на двигателя 2CP3-68 1946725 за багер Carter

Метод за изготвяне на сензор за налягане, характеризиращ се с това, че включва следните стъпки:

S1, осигуряващ пластина със задна повърхност и предна повърхност; Формиране на пиезорезистивна лента и силно легирана контактна зона върху предната повърхност на пластината; Оформяне на дълбока кухина под налягане чрез ецване на задната повърхност на пластината;

S2, залепване на опорен лист на гърба на вафлата;

S3, производство на оловни отвори и метални проводници на предната страна на пластината и свързване на пиезорезистивни ленти за образуване на мост на Уитстон;

S4, отлагане и образуване на пасивиращ слой върху предната повърхност на пластината и отваряне на част от пасивиращия слой за образуване на метална подложка. 2. Производственият метод на сензора за налягане съгласно претенция 1, при който S1 конкретно включва следните стъпки: S11: осигуряване на пластина със задна повърхност и предна повърхност и определяне на дебелината на чувствителен на натиск филм върху пластината; S12: йонна имплантация се използва върху предната повърхност на пластината, пиезорезистивните ленти се произвеждат чрез процес на високотемпературна дифузия и контактните области са силно легирани; S13: отлагане и образуване на защитен слой върху предната повърхност на пластината; S14: ецване и образуване на кухина с дълбочина под налягане на гърба на пластината, за да се образува чувствителен на натиск филм. 3. Методът за производство на сензора за налягане съгласно претенция 1, при който пластината е SOI.

През 1962 г. Tufte et al. произвежда пиезорезистивен сензор за налягане с дифузни силициеви пиезорезистивни ленти и силициева филмова структура за първи път и започва изследване на пиезорезистивен сензор за налягане. В края на 60-те и началото на 70-те години на миналия век появата на три технологии, а именно технология за анизотропно ецване на силиций, технология за имплантиране на йони и технология за анодно свързване, донесе големи промени в сензора за налягане, което изигра важна роля за подобряване на работата на сензора за налягане. . От 80-те години на миналия век, с по-нататъшното развитие на технологията за микрообработка, като анизотропно ецване, литография, дифузионно легиране, йонна имплантация, свързване и покритие, размерът на сензора за налягане непрекъснато намалява, чувствителността е подобрена и изходът е висок и представянето е отлично. В същото време, разработването и прилагането на нова технология за микрообработка прави дебелината на филма на сензора за налягане точно контролирана.